半导体前道量检测设备行业报告：重点产品持续突破，国产替代正在加速国海证券 2024-01-19（56页）附下载_行业研究_报告

半导体前道量检测设备行业报告：重点产品持续突破，国产替代正在加速国海证券 2024-01-19（56页）附下载

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发布机构：国海证券发布时间：2024-01-19大小：7.53 MB页数：共56页上传日期：2024-01-20语言：中文简体

半导体前道量检测设备行业报告：重点产品持续突破，国产替代正在加速国海证券2024-01-19.pdf

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摘要：半导体量检测设备市场空间广阔半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂持续扩产，国内半导体设备市场长期有望稳健增长。质量控制贯穿晶圆制造全过程，是芯片生产良率的关键保障，先进制程将对工艺控制水平提出更高要求，量检测设备价值量有望倍增。我们测算，2023/2024/2025/2026年全球半导体量检测设备市场空间分别为105/120/138/145亿美元，CAGR达11.5%，中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为35/41/48/51亿美元，CAGR达12.8%。多系统组合有望成为检测技术方向我们测算，2022年全球光学/电子束/X光检测设备市场份额分别为74.2%/19.7%/2.2%，光学检测速度快、无接触，然而先进节点检测灵敏度有限；电子束检测精度较高，然而速率较慢、设备成本较高；随着芯片材料和结构复杂性持续提升，多系统组合有望成为检测技术方向。近年量检测设备国产替代正在加速据VLSIResearch、QYResearch，2020年全球半导体量检测设备行业CR5达82%，KLA历经多次并购，产品种类齐全，2020年KLA量检测设备全球市占率达51%；ASML将量检测设备与EUV系统配套，电子束检测设备竞争优势显著，据theinformationnetwork，2022年ASLM电子束检测设备全球市占率达50%。目前量检测设备国产化率较低，本土主要供应商包括上海精测、中科飞测和睿励仪器，2018-2022年三家公司国内市场份额合计0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地缘因素影响下，量检测设备国产替代正在加速。关注本土设备商新品突破及订单进展半导体量检测设备空间广阔，国产替代正在加速，建议关注精测电子、中科飞测、中微公司、赛腾股份、天准科技。1）精测电子：立足面板检测主业，半导体产品持续完善，明场检测设备进展领先；2）中科飞测：聚焦量检测设备近十年，纳米图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测等设备加速研发；3）中微公司：多次增资睿励仪器，量检测收入持续增长；4）赛腾股份：收购日本Optima，布局晶圆检测设备；5）天准科技：加速布局半导体领域，首台明场检测设备已交付客户试用。首次覆盖，给予半导体前道量检测设备行业“推荐”评级。风险提示：半导体行业景气度复苏不及预期；半导体设备国产替代不及预期；行业竞争加剧风险；市场空间测算偏差风险；重点关注公司业绩不及预期；研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险等。

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