涂胶显影设备 头豹词条报告系列 头豹研究院 2023-11-14(17页) 附下载
发布机构:头豹研究院发布时间:2023-11-14大小:1.44 MB页数:共17页上传日期:2023-11-16语言:中文简体

涂胶显影设备头豹词条报告系列头豹研究院2023-11-14.pdf

摘要:涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备,包括涂胶机、喷胶机(适用于不规则表面晶圆的光刻胶涂覆)和显影机;且作为光刻工艺中的核心设备,分类方式众多。根据工艺的不同可以被分为前道和后道涂胶显影设备,前者主要用于晶圆制造的前道工艺中,而后者是在封测工艺中使用。2020年中国(包含中国台湾地区)涂胶显影设备市场规模为8.14亿美元;预计在2023年将达到11.07亿美元,年均复合增长率达11%。涂胶显影设备行业竞争格局稳固,国外厂商高度垄断。在涂胶显影设备行业,全球范围内日本东京电子(TEL)独树一帜,处于绝对领先的优势。国产替代方面,芯源微实现小批量替代,盛美上海、众鸿电子进军市场,但总体来看仍具有较大差距。

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