电子：光刻机国之重器，重塑半导体光学板块估值德邦证券 2023-03-20 附下载_行业研究_报告

电子：光刻机国之重器，重塑半导体光学板块估值德邦证券 2023-03-20 附下载

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发布机构：德邦证券发布时间：2023-03-20大小：269.38 KB页数：共2页上传日期：2023-03-21语言：中文简体

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摘要：事件：ASML恢复供应1980Di光刻机引关注。近日ASML发布声明表示荷兰政府的出口管制并不涉及所有浸没式光刻设备，只涉及“最先进”设备。ASML将“最先进”设备定义为2000i及之后的浸没式光刻系统。根据ASML官网，1980Di可能是管制之外最先进的设备，其光刻精度≤38nm，并通过多重曝光可以生产14nm以上芯片。ASML的表态反映我国晶圆厂主要扩产的28nm及以上产能的光刻机预计能得到供应，目前国内厂商上海微电子已实现90nm量产（600系列光刻机），正在攻坚28nm光刻机。茂莱光学：公司专注于精密光学器件、光学镜头和光学系统的研发、设计、制造及销售，主要产品包括透镜、棱镜和平片（多光谱滤光片、荧光滤光片、太空反射镜等）。在半导体检测及光刻机领域，公司研发生产的半导体检测设备光学系统已成功应用于国际龙头企业KLA、Camtek的半导体检测设备中；公司研发的精密光学器件已应用于国产光刻机中，为光刻机国产化提供了重要支撑，助力我国国产光刻机的技术发展。公司2022年上半年光刻机应用收入为466.05万元，其中透镜产品收入为244.33万元，上海微电子是公司光刻机领域最主要的客户。炬光科技：公司可提供光刻机曝光系统里核心元器件——光场匀化器，供应给世界顶级光学企业A公司。同时，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，亦逐步向日本市场进行渗透。2022年起得益于半导体市场DUV光刻市场需求强烈，终端客户产能扩张迅速，应客户要求公司已于2022年在德国完成产能扩充，未来公司在A公司的占有率将进一步提升，同时公司与A公司也有意向进一步往光学模组等产品品类展开合作。2022年上半年，公司半导体激光系列及航天微电子元器件共收入3540.77万元，2022年前三个季度，公司光刻用光场匀化器收入增长近90%，公司预期将在未来几年维持三位数增长。福晶科技：公司产品主要用于固体激光器、光纤激光器的制造，是前述激光器系统的关键元器件，部分精密光学元件产品应用于光通讯、AR、激光雷达、半导体设备、光学检测设备、分析仪器和科研等领域。公司积极投入半导体光学研发，超精密光学产品线主要面向半导体客户，并于2022年12月完成新设立子公司福建至期光子科技有限公司聚焦超精密光学产品研发生产。腾景科技：公司主要从事各类精密光学元组件、光纤器件研发、生产和销售。据2022年年报披露，公司多波段合分束器已完成产品开发，成功进入半导体微电子设备厂供应链。在光纤激光领域，公司与行业主要的光纤激光器厂商建立了合作关系，主要客户包括R客户、nLIGHT等，其中nLIGHT是世界领先的高功率半导体激光器厂商，R客户为全球知名的光纤激光器企业。永新光学：公司主要从事光学显微镜、光学元件组件和其他光学产品的研发、生产和销售。半导体领域，至2022年上半年，公司自主研发生产的应用于PCB无掩膜激光直写光刻设备的光刻镜头在手订单充足，保持稳健增长。投资建议：半导体光学领域估值重塑，建议关注茂莱光学、炬光科技、福晶科技、腾景光学、永新光学。风险提示：半导体光刻国产进程较缓慢，产品上量不及预期，海外竞争风险。

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