半导体行业研究周报:荷兰对光刻机出口进一步限制,国产化亟待加速天风证券2023-03-14.pdf
摘要:在美国持续施压对华禁运关键半导体技术的情况下,荷兰政府正准备对半导体设备实施新的出口限制。当地时间3月8日,荷兰贸易部长列斯杰·施赖纳马赫尔(Liesje Schreinemacher)在致立法者的一封信中表示,荷兰政府考虑了“技术发展和地缘政治背景”,准备对半导体设备实施新的出口限制,这些规定预计将在夏季之前公布。她在信中没有具体提及中国和荷兰半导体设备主要供应商ASML,但指出其中一项将受到影响的技术是“DUV”光刻技术。“出于国家和国际安全考虑,有必要尽快控制这项技术。”ASML针对上述出口限制发布声明,表示额外的出口管制并不涉及所有浸没式光刻机,而只涉及所谓的“最先进的”设备。ASML提到,这些控制措施需要时间才能转化为立法并生效,公司预计这些措施不会对此前发布的2023年财务展望产生重大影响。ASML强调,额外的出口管制并不涉及所有浸没式光刻机,而只涉及所谓的“最先进的”设备。尽管ASML尚未收到有关“最先进”确切定义的更多细节,但ASML将其解释为“关键沉浸”(critical immersion),ASML将其定义为TWINSCAN NXT:2000i和之后推出的浸没式系统。此外,ASML指出,制程位于成熟节点的客户仍旧可以使用不太先进的浸没式光刻机。光刻机是制造芯片的核心装备,制造难度极大,国产光刻机仍较为落后。目前高端光刻机制造领域,全球只有少数几家公司能掌握,那就是荷兰的ASML,日本的尼康和佳能。中低端领域,国产光刻机龙头上海微电子(SMEE)能够触及。目前,上海微电子已经能实现90nm量产(600系列光刻机),正在攻克28nm光刻机,与ASML的技术实力仍有较大差距,国产光刻机亟待突破。在光刻机国产化道路上,零部件也是不可忽视的重要环节。在光刻机零部件中,KBBF晶体主要用来制造深紫外激光器,而光刻机就是深紫外激光器的高端应用市场。2013年,我国研制的全球首个深紫外固态激光器通过验收,成为当时全球唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家,为国产DUV光刻机行业发展奠定坚实基础。而光学透镜则是保证光刻机高成像质量的关键组件,我国的茂莱光学的DUV光学透镜已经在给上海微电子供货,助力我国半导体光刻机国产化。建议关注:1)半导体零部件:正帆科技(天风机械团队联合覆盖)/江丰电子/茂莱光学/新莱应材(天风机械团队覆盖)/华亚智能/神工股份/英杰电气/富创精密/明志科技/汉钟精机(天风机械团队覆盖)/国机精工(天风机械团队覆盖);2)半导体材料设备:雅克科技/沪硅产业/华峰测控(天风机械团队覆盖)/上海新阳/中微公司/精测电子(天风机械团队联合覆盖)/长川科技(天风机械团队覆盖)/鼎龙股份(天风化工团队联合覆盖)/安集科技/拓荆科技(天风机械团队联合覆盖)/盛美上海/多氟多/中巨芯/清溢光电/有研新材/华特气体/南大光电/金宏气体(天风化工团队覆盖)/凯美特气/杭氧股份(天风机械团队覆盖)/和远气体/华懋科技;3)半导体设计:江波龙(天风计算机团队联合覆盖)/纳芯微/圣邦股份/晶晨股份/斯达半导/宏微科技/东微半导/瑞芯微/思瑞浦/中颖电子/澜起科技/扬杰科技/新洁能/兆易创新/韦尔股份/艾为电子/富瀚微/恒玄科技/乐鑫科技/全志科技/卓胜微/晶丰明源/声光电科/紫光国微/复旦微电/龙芯中科/海光信息(天风计算机团队覆盖);4)IDM:闻泰科技/三安光电/时代电气/士兰微/扬杰科技;5)代工封测:华虹半导体/中芯国际/长电科技/通富微电;6)卫星产业链:声光电科/复旦微电/铖昌科技/振芯科技/北斗星通风险提示:宏观不确定性,疫情继续恶化;贸易战影响;需求不及预期。
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